川島轉(zhuǎn)輪式除濕機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室的應(yīng)用
更新時間:2021-06-24 | 點(diǎn)擊率:1398
川島轉(zhuǎn)輪式除濕機(jī)不受空氣影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件。濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下,生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響,其對濕度的精度提出了嚴(yán)格要求,對于空調(diào)系統(tǒng)的配置,則要求系統(tǒng)同時具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。
一般半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為T=22±2℃,RH=45±5%;而對于這個溫濕度要求,傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理,并取得了成果。但這種方式卻存在著一個問題,冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi),特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng),大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的情況,使得這個問題十分突出。因此在許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和川島轉(zhuǎn)輪式除濕機(jī)聯(lián)合處理溫濕度而后通過后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式,達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求,并取得了顯著收益。
轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)系統(tǒng)就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合,利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕,而利用川島轉(zhuǎn)輪式除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在的范圍內(nèi)除濕效果好,且性能穩(wěn)定,但當(dāng)濕度要求較低時,冷卻除濕的能力明顯下降,此時選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕系統(tǒng),可以達(dá)到很好的效果。冷卻除濕作為前期除濕,突出了冷卻除濕機(jī)高工況下能耗低的特點(diǎn),利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕,突出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下,不受限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。在低濕環(huán)境條件下,采用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)具有僅冷卻除濕機(jī)不可比擬的*性。